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薄膜作製ハンドブック
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 応用物理学会薄膜・表面物理分科会編
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 共立出版, 1991.3
- 形態:
- xiii, 380p ; 27cm
- 著者名:
- 応用物理学会薄膜・表面物理分科会 <DA05722658>
- 書誌ID:
- BN06104150
- ISBN:
- 9784320084933 [4320084934]
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