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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

フォーマット:
図書
責任表示:
山口高司, 平田光男, 藤本博志編著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 東京電機大学出版局, 2007.10
形態:
vi, 280p ; 22cm
著者名:
書誌ID:
BA83531915
ISBN:
9784501113506 [4501113502]
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