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Si(110)基板上SiC薄膜の構造安定性に関する理論的研究

フォーマット:
図書
責任表示:
菅野徹 [著]
言語:
日本語
出版情報:
[津] : [三重大学], [2008.2]
形態:
1冊 ; 31cm
著者名:
菅野, 徹  
シリーズ名:
修士論文. 三重大学大学院工学研究科博士前期課程物理工学専攻 ; 平成19年度
書誌ID:
MT00013795
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