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AINエピタキシャル膜上へIII族窒化物半導体のMOVPE成長

フォーマット:
図書
責任表示:
木田喜啓[著]
言語:
日本語
出版情報:
[津] : [三重大学], [2003]
形態:
1冊 ; 31 cm
著者名:
木田, 喜啓  
シリーズ名:
修士論文. 三重大学大学院工学研究科博士前期課程電気電子工学専攻 ; 平成14年度
書誌ID:
MT00009928
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