半導体製造装置用語辞典 | 三重大学附属図書館 OPAC

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半導体製造装置用語辞典. 第3版

フォーマット:: 図書
責任表示:: 日本半導体製造装置協会編
言語:: 日本語; 英語
出版情報:: 東京 : 日刊工業新聞社, 1994.11
形態:: xv, 486p ; 22cm
著者名:: 日本半導体製造装置協会 <DA02628777>
書誌ID:: BN11770322
ISBN:: 9784526036132 [4526036137]

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1. 半導体製造装置用語辞典
日本半導体製造装置協会編 , 日刊工業新聞社 , 1987

詳細

その他のタイトル:	Terminological dictionary of semiconductor equipment
資料形態(詳細):	Text
主題:	半導体
登録日:	1995-01-11
タイトルのヨミ:	ハンドウタイセイゾウソウチヨウゴジテン
著者のヨミ:	ニホンハンドウタイセイゾウソウチキョウカイ
件名のヨミ:	ハンドウタイ -- ジテンハンドウタイ -- ベンランハンドウタイ
分類・件名:	NDC8 : 549.8 BSH : 半導体 -- 辞典 BSH : 半導体 -- 便覧 NDLSH : 半導体

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