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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工
- フォーマット:
- 図書
- 責任表示:
- 阿部孝夫著
- 言語:
- 日本語
- 出版情報:
- 東京 : 培風館, 1994.5
- 形態:
- xii, 361p ; 22cm
- 著者名:
- 阿部, 孝夫 <DA00407176>
- シリーズ名:
- アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 5 <BN10717539>
- 書誌ID:
- BN10742751
- ISBN:
- 9784563036058 [4563036056]
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