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微細加工とレジスト

フォーマット:
図書
責任表示:
野々垣三郎著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 共立出版, 1987.11
形態:
iv, 99p ; 19cm
著者名:
野々垣, 三郎 <DA01285347>  
シリーズ名:
高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3 <BN01106647>
書誌ID:
BN01734322
ISBN:
9784320042278 [4320042271]
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1 図書 超微細加工入門

古川, 静二郎(1934-), 浅野, 種正(1953-)

オーム社
7 図書 オプトエレクトロニクス入門

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森北出版
2 図書 短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工

上野, 巧, 有機エレクトロニクス材料研究会

ぶんしん出版
8 図書 論理設計とスイッチング理論 : LSI, VLSIの設計基礎

室賀, 三郎, 笹尾, 勤(1950-)

共立出版
3 図書 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

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Bakoglu, H. B., 1958-, 中澤, 喜三郎(1932-), 中村, 宏(1963-)

丸善
4 図書 オプトエレクトロニクス : 材料と加工技術

応用物理学会光学懇話会, 伊賀, 健一(1940-)

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オーム社
6 図書 オプトエレクトロニクスの基礎

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日刊工業新聞社
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