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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

フォーマット:
図書
責任表示:
金原粲著
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 東京大学出版会, 1984.3
形態:
ix, 231p ; 22cm
著者名:
金原, 粲(1933-) <DA00208588>  
書誌ID:
BN00164488
ISBN:
9784130610476 [4130610473]
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1 図書 薄膜 : その機能と応用

金原, 粲(1933-)

日本規格協会
7 図書 薄膜の評価技術ハンドブック

吉田, 貞史, 金原, 粲(1933-)

テクノシステム
2 図書 薄膜

金原, 粲(1933-), 藤原, 英夫(1935-)

裳華房
8 図書 薄膜工学

白木, 靖寛(1942-), 吉田, 貞史, 金原, 粲(1933-)

丸善
3 図書 薄膜の基本技術

金原, 粲(1933-)

東京大学出版会
9 図書 入門真空・薄膜・スパッタリング

Stuart, R. V., 毛利, 衛, 数坂, 昭夫

技報堂出版
4 図書 薄膜の基本技術

金原, 粲(1933-)

東京大学出版会
10 図書 薄膜工学

日本学術振興会薄膜第131委員会, 吉田, 貞史, 近藤, 高志, 金原, 粲(1933-)

丸善出版
5 図書 薄膜の基本技術

金原, 粲(1933-)

東京大学出版会
11 図書 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島, 啓安

日刊工業新聞社
6 図書 薄膜工学

吉田, 貞史, 近藤, 高志, 金原, 粲(1933-)

丸善出版
12 図書 高周波交互スパッタリングによる薄膜の物性

神谷, 裕二

三重大学