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ULSIプロセス技術

フォーマット:
図書
責任表示:
原央編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 培風館, 1997.6
形態:
x, 286p ; 22cm
著者名:
原, 央 <DA00849593>  
シリーズ名:
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 17 <BN10717539>
書誌ID:
BA30760470
ISBN:
9784563036171 [456303617X]
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1 図書 ULSIプロセスの基礎技術

古川, 静二郎(1934-), 石原, 健, 堂山, 昌男(1927-)

丸善
7 図書 デバイスとプロセス

西澤, 潤一(1926-), 半導体研究振興会

工業調査会
2 図書 半導体プラズマプロセス技術

菅野, 卓雄(1931-)

産業図書
8 図書 超LSI材料・プロセスの基礎

岸野, 正剛

オーム社
3 図書 プロセス・デバイス・シミュレーション技術

壇, 良

産業図書
9 図書 半導体プロセス技術

丹呉, 浩侑

培風館
4 図書 わかりやすい半導体のはなし : IC、LSIの生産プロセスから技術ノウハウまで半導体現場のすべてがわかる本

那野, 比古(1936-)

日本実業出版社
10 図書 半導体デバイス : 基礎理論とプロセス技術

Sze, S. M., 1936-, 南日, 康夫, 川辺, 光央(1938-), 長谷川, 文夫

産業図書
5 図書 材料のプロセス技術

梅田, 高照(1940-), 木原, 諄二(1937-)

東京大学出版会
11 図書 半導体デバイス : 基礎理論とプロセス技術

Sze, S. M., 1936-, 南日, 康夫, 川辺, 光央(1938-), 長谷川, 文夫

産業図書
6 図書 製造プロセス編

電子情報通信学会, 角南, 英夫

コロナ社
12 図書 自己組織化プロセス技術

村田, 好正(1935-), 尾関, 雅志, 野崎, 眞次

培風館