Plasma etching : an introduction

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フォーマット:

図書

責任表示:

edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm

言語:

英語

出版情報:

Boston ; Tokyo : Academic Press, c1989

形態:

xii, 476 p. ; 24 cm

著者名:

シリーズ名:

Plasma-materials interactions <BA0662742X>

書誌ID:

BA07363130

ISBN:

9780124693708 [0124693709]

子書誌情報

所蔵情報

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詳細

資料形態(詳細):	Text
主題:	Plasma etching
LCCN:	87037419
注記:	Includes bibliographical references and index
登録日:	2006-11-15
分類・件名:	LCC : TA2020 DDC : 621.044 NDC8 : 427.6 LCSH : Plasma etching

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1 図書 Surface analysis and interactions Auciello, Orlando, 1945-, Flamm, Daniel L. Academic Press	7 図書 Kinetics of nonequilibrium low-temperature plasmas Biberman, L. M. (Leon Mikhaĭlovich), Vorobʹev, V. S. (Vladimir Sergeevich), I︠A︡kubov, I. T. (Igorʹ Tevfikovich) Consultants Bureau
2 図書 Discharge parameters and chemistry Auciello, Orlando, 1945-, Flamm, Daniel L. Academic Press	8 図書 Plasma physics Delcroix, J.-L. (Jean-Loup) Wiley
3 図書 Introduction to plasma physics Smirnov, B. M. (Boris Mikhaĭlovich) Mir	9 図書 Plasma chemistry Venugopalan, M. (Mundiyath), 1932-, Vepřek, S., Bourdin, E. Springer-Verlag
4 図書 Physics of shock waves in gases and plasmas Liberman, M. A. (Mikhail Andreevich), 1942-, Velikovich, A. L. (Alexander L.), 1951- Springer-Verlag	10 図書 Reflective teaching : an introduction Zeichner, Kenneth M., Liston, Daniel Patrick, 1953 Routledge
5 図書 Digital logic and computer design Mano, M. Morris, 1927- Prentice-Hall	11 図書 Inverse problems in scattering : an introduction Gladwell, G. M. L. Kluwer Academic Publishers
6 図書 Computer system architecture Mano, M. Morris, 1927- Prentice-Hall	12 図書 Introduction to plasma physics Chen, Francis F., 1929- Plenum Press